每经记者 朱成祥 每经编辑 文 多

在2021年的缺芯、涨价影响下，国内外半导体大厂纷纷大幅增加资本开支，建厂扩产。在轰轰烈烈的建厂潮下，中国大陆逐渐于2021年第二季度成长为全球第一大半导体制造设备市场。

一方面，国内半导体制造设备市场逐渐成长；另一方面，国内芯片制程厂商也开始逐渐使用国产设备。北方华创（002371，SZ），正是国内产品种类最丰富的半导体设备厂商。截至12月22日，北方华创的股价在2021年内涨幅接近90%。

受2021年以来持续的“缺芯”影响，各大半导体厂商大幅建厂扩产。特别是台积电宣称未来3年内将投入1000亿美元增加产能。除台积电外，三星、英特尔、格芯、中芯国际等半导体制造企业均有大规模投资建厂的计划。

受益于半导体扩产潮

中国大陆市场半导体设备需求尤为火热，根据9月7日SEMI发布的《全球半导体设备市场报告》，2021年第二季度全球半导体设备出货金额达249亿美元，创历史新高，同比增长48%。中国大陆、韩国、中国台湾地区位列前三：中国大陆第二季度半导体设备出货82.2亿美元，同比增长79%；韩国第二季度半导体设备出货额为66.2亿美元，同比增长48%；中国台湾地区第二季度半导体设备出货50.4亿美元，同比增长44%。

目前全球半导体设备市场主要由美国、日本、荷兰厂商控制。国内厂商方面，主要以北方华创、中微公司、盛美上海为主。晶圆制造过程主要包括7个相互独立的工艺流程：光刻、刻蚀、薄膜沉积、扩散、离子注入、化学机械抛光、金属化。其中，光刻、刻蚀、薄膜沉积为设备价值最高的三个流程，价值占比之和超过50%。另外，随着工艺复杂度的提高，清洗设备的重要性也在逐渐提高。

相比中微公司侧重刻蚀，盛美上海侧重清洗，北方华创的产品则覆盖刻蚀、薄膜沉积和清洗。北方华创在2020年年报中表示：“公司集成电路先进制程多种产品通过客户验证，成熟制程设备工艺覆盖率快速提升。刻蚀机、PVD、立式炉、清洗机等产品在集成电路、先进封装主流客户实现规模销售。”

公司产品种类丰富

国产厂商已经在刻蚀设备、清洗设备、薄膜沉积设备中占据部分市场份额。以长江存储2021年9月至11月上旬数据为例，其刻蚀设备主要采购自北方华创，共计2台，另有4台薄膜沉积设备采购自北方华创。

此案例中，长江存储采购自北方华创各项设备的量并非最多，但产品种类确实最广，包括薄膜沉积设备、退火设备、刻蚀设备、氧化设备和炉管设备，各类产品数量合计10多台。

根据东吴证券数据，截至2020年12月，半导体设备中，刻蚀设备、薄膜沉积设备、量检测设备、清洗设备、离子注入设备、CMP设备、涂胶显影设备的国产设备率分别为7%、8%、2%、20%、2%、10%、7%，而光刻设备的国产设备率仍是0%。

可以看出，薄膜沉积设备方面，北方华创中标的PVD（物理气相沉积）、CVD（化学气相沉积）、ALD（原子层沉积）设备分别为14台、5台和1台，共计20台；中微公司中标的MOCVD（金属有机化合物化学气相沉积）设备为1台；沈阳拓荆中标的CVD为24台。也就是说，在上述时间段中，北方华创在薄膜沉积设备销量方面仅次于沈阳拓荆，在国产厂商中排名第二。

清洗设备方面，北方华创中标的湿法清洗设备为13台。而芯源微、盛美上海、屹唐半导体中标的湿法清洗设备分别为8台、14台和2台。即北方华创在上述时间段中，于国产清洗设备厂商中销量排名第二，仅次于盛美上海。

每日经济新闻