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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子泵保养公司 真空泵养护维修
旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下:在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1(Pa)下,其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。真空泵养护维修
旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子,转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙),转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时,靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触,转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。真空泵养护维修
4、杂音振动----管路支撑不稳,润滑油混有气体,产生汽蚀,轴承损坏,电动机超载发热运行稳固管路,提高吸入压力排气,降低真空度,更换轴承,调整按电动机发热方法排除5、电动机发热----流量多大,超载运行,碰擦,电动机轴承损坏,电压不足,关小出口阀,检查排除,更换轴承,稳压6、泵浦漏油----机械密封磨损,泵体有砂孔或po裂,密封面不平整,安装螺栓松动更换密封套件,修补泵浦,修正密封面端面,紧固螺栓。真空泵养护维修
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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子泵保养公司 进口真空泵维修
泵壳内注有循环水,在抽真空时,叶轮旋转,在离心力的作用下,泵壳内的循环水被甩至叶轮四周,在泵壳内壁形成一个旋转水环。又因叶轮是偏心安装在泵壳内的,因此水环与牙状叶片之间形成的空间大小不同。进口真空泵维修
飞轮变形或螺杆磨损
长期使用后,泵内部机械部件可能出现变形或损坏,从而影响泵的效率和性能。如飞轮变形或螺杆磨损,会导致泵的振动、噪音和效率下降,此时需要拆除故障部件并更换新的零部件。进口真空泵维修
真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求,选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如:真空工艺要求100Pa的真空度,选用真空泵的真空度至少要50Pa-10Pa)。一般如果要求jue对压强高于3300Pa,则优先选择水环式真空泵作为真空装置,如果jue对压强要求低于3300Pa,则不能选择水环式真空泵,选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。
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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子泵保养公司 二手涡轮分子泵维护中心
在半导体晶圆的制造中,光磁存储生产中,太阳能面板制造中,TFT,OLED及其他光学**镀膜中,**分析仪器及航空航天研究中,都离不开高真空,涡轮分子泵,复合分子泵,磁悬浮分子泵是目前获得高真空*好设备之一,其工作原理是利用高速旋转的多层转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被一层一层定子隔离,*终驱向排气口后为前级抽走而获得高真空。二手涡轮分子泵维护中心
当真空泵停止运行时,泵内的液体回落到液体源,泵体及吸液管内充满了空气。当再次启动时,叶轮抽吸空气,虽能形成一定的负压,但该负压尚不能将空气下面的液体连带提升上来,因为液体的重力作用,当负压达到一定值时,空气可从叶轮中返回,所以空气无法再从叶轮中抽出。二手涡轮分子泵维护中心
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